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化合物半導体単結晶の成長

      化合物半導体単結晶(例えばGaAsInPなど)の成長には温度や原材料の純度及び成長容器の純度などに対して極厳しい条件が要る。化合物半導体単結晶の成長方法は主には液体封止引上法(LEC)と垂直温度勾配凝固法(VGF)などの方法があり、博宇VGFLECシリーズ坩堝製品にその方法によって作られるものである。

  • 製品の概要
  • 製品モデル
  • 参考文書

          化合物半導体は第二代の半導体材料と称される。第一代の半導体材料と比べて、光学遷移及び電子飽和遷移速度定数が高い、耐高温、耐輻射などの特性を有し、超高速、超高周波数、低パワー、低ノイズの回路で、特に光電子部品と光電ストレージにおけて独特なメリットがある。その内、一番代表的なものはGaAsInPなどである。
     


     

        
                       VGF 坩堝                                                LEC 坩堝